Con la finalidad de facilitar los cobros de los tributos de los indios, las tribus popolocas y nahuatl ubicadas en Totozintle, Mazapán y en Tempexquixtle, se establecieron en la Cañada Grande de Yocomoliucan; pero al no regresar a su lugar de origen y fundaron el 20 de enero de 1605 Santa Inés Ahuatempan.
Anteriormente perteneció al ex-distrito de Tepexi; actualmente es la cabecera del municipio que lleva su nombre por decreto gubernamental en el año de 1895.
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